IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing

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The IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing addresses the challenging problems of manufacturing complex microelectronic components, especially very large scale integrated circuits (VLSI). Manufacturing these products requires precision micropatterning, precise control of materials properties, ultraclean work environments, and complex interactions of chemical, physical, electrical and mechanical processes.

主办单位： IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
出版地区： United States
出版周期：季刊

国际标准连续出版物号： ISSN 0894-6507
创刊时间： 1988年

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