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等离子体应用技术快报
发文量 864
被引量 27

  • 主办单位： 核工业西南物理研究院
  • 出版地区： 四川省
  • 出版周期： 月刊
热门主题：

等离子体等离子体源离子植入等离子体蚀刻离子ECR等离子体离子蚀刻表面改性等离子体浸没离子植入微波等离子体等离子体氮化等离子体沉积磁控管溅射电子回旋共振ECR等离子体源等离子体处理等离子体喷涂等离子体加工半导体器件集成电路

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封面
2000年12期
共：14篇

    • 卫冰

      1-4

    • 李兵

      4-5

    • 拾灵

      6-6

    • 蓉佳

      7-8

    • 李豫

      9-10

    • 卫冰

      11-13

    • 拾灵

      14-15

    • 蔚然

      16-17

    • 马兵

      17-19

    • 白雪

      19-21

    • 马兵

      21-23

    • 23-23

    • 23-24

    • 24-24
2000年12期

2000年12期

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